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scis高精密环境控制设备

scis高精密环境控制设备是一款自主研发的精密环境控制产品,主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。

scis hea300

高精密环境控制设备

scis hba300

高精密环境控制设备

scis haa300

高精密环境控制设备

scis hcb100

高精密环境控制设备

scis hcc100

高精密环境控制设备

scis hcc100

高精密环境控制设备

tz- 800a

实验室环境控制终端

超高精度温湿度控制

  自主研发的高精密控温技术 , 控制输出精度0 . 1%

  设备内部温度稳定性关键区域可达 /-5mk (静态) , 内部温度规格为22. oc (可调) , 温度水平均匀性小于16mk/m

  设备内部湿度稳定性可达±0 .5%@8h

  设备内部压力稳定性可达 /-3pa

  连续稳定工作时间大于144h

超高水准洁净度控制

  该系统可实现百级以上洁净度控制 。

  内部洁净度: 最高可优于 iso class 3(设备工作区)

数据实时记录查询

  数据自动生成曲线 , 便于查看

  数据自动保存 , 可随时以表格的形式导出数据

  运行状态、 故障状态等事件同步记录 , 查询 目了然

外观定制可拆卸

  采用可拆卸铝合金框架 , 大型设备可现场组装

  箱体采用高质量钣金材质 , 美观大方 , 可根据客户需求定制外观颜色

设备运行静音高效

  采用ec风机 , 更高效、 更强大、 更安静的运行

  制冷单元内部采用高效隔音材质 , 进 步降低设备噪音噪音<45db

自动安全保护系统

  故障自动保护程序 , 全天候无忧运行

  故障实时声光报警提醒 , 远程协助故障处理

命名 scis h a a 100
码位 1 2 3 4 5
第1码 scis-品牌
第2码 h-高精密环控系列
第3码 制冷模式编号 a-风冷型,冷媒介质为水 b-水冷型,冷媒介质为水 c-风冷型,冷媒介质为氟利昂 d-水冷型,冷媒介质为氟利昂 e-用户提供冷冻水
第4码 温度精度编号 a-精度高于±0.01 b-精度低于±0.01,高于±0.05 c-精度低于±0.05
第5码 设备规模编号 100-小型设备(一般制冷量小于5kw)200-中型设备(一般制冷量在5kv-10kw之间) 300-大型设备(一般制冷量在10kw以上)
设备需放置于具有一定温湿度精度、洁净度要求的实验室内运行。
周围温湿度条件 ±2℃ db温度变化率0.5℃/8h以内
±5%rh 湿度变化率59%8h以内
周围洁净度条件 iso class6
环境噪音 ≤60db
供电电源 三相五线制380vac-50hz或220vac-50hz(根据设备而定)
电源电压 最大允许波动范围为±10%
储存环境温度 设备制冷单元-40℃-70℃ 触摸屏-20℃-60℃,不结露
运行环境温度 控制器-20℃-60℃ 触摸屏0℃-50℃,不结露

典型运用

芯片半导体

芯片半导体

精密测量

精密测量

精密制造

精密制造

图片名称

科研研发

自研产品-w66利来最给利的老牌

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