scis高精密环境控制设备
scis高精密环境控制设备是一款自主研发的精密环境控制产品,主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。
超高精度温湿度控制 自主研发的高精密控温技术 , 控制输出精度0 . 1% 设备内部温度稳定性关键区域可达 /-5mk (静态) , 内部温度规格为22. oc (可调) , 温度水平均匀性小于16mk/m 设备内部湿度稳定性可达±0 .5%@8h 设备内部压力稳定性可达 /-3pa 连续稳定工作时间大于144h |
超高水准洁净度控制 该系统可实现百级以上洁净度控制 。 内部洁净度: 最高可优于 iso class 3(设备工作区) |
数据实时记录查询 数据自动生成曲线 , 便于查看 数据自动保存 , 可随时以表格的形式导出数据 运行状态、 故障状态等事件同步记录 , 查询 目了然 |
外观定制可拆卸 采用可拆卸铝合金框架 , 大型设备可现场组装 箱体采用高质量钣金材质 , 美观大方 , 可根据客户需求定制外观颜色 |
设备运行静音高效 采用ec风机 , 更高效、 更强大、 更安静的运行 制冷单元内部采用高效隔音材质 , 进 步降低设备噪音噪音<45db |
自动安全保护系统 故障自动保护程序 , 全天候无忧运行 故障实时声光报警提醒 , 远程协助故障处理 |
命名 | scis | h | a | a | 100 |
码位 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 |
第1码 | scis-品牌 | ||||
第2码 | h-高精密环控系列 | ||||
第3码 | 制冷模式编号 a-风冷型,冷媒介质为水 b-水冷型,冷媒介质为水 c-风冷型,冷媒介质为氟利昂 d-水冷型,冷媒介质为氟利昂 e-用户提供冷冻水 | ||||
第4码 | 温度精度编号 a-精度高于±0.01 b-精度低于±0.01,高于±0.05 c-精度低于±0.05 | ||||
第5码 | 设备规模编号 100-小型设备(一般制冷量小于5kw)200-中型设备(一般制冷量在5kv-10kw之间) 300-大型设备(一般制冷量在10kw以上) |
设备需放置于具有一定温湿度精度、洁净度要求的实验室内运行。 | |
周围温湿度条件 | ±2℃ db温度变化率0.5℃/8h以内 |
±5%rh 湿度变化率59%8h以内 | |
周围洁净度条件 | iso class6 |
环境噪音 | ≤60db |
供电电源 | 三相五线制380vac-50hz或220vac-50hz(根据设备而定) |
电源电压 | 最大允许波动范围为±10% |
储存环境温度 | 设备制冷单元-40℃-70℃ 触摸屏-20℃-60℃,不结露 |
运行环境温度 | 控制器-20℃-60℃ 触摸屏0℃-50℃,不结露 |
典型运用
芯片半导体
精密测量
精密制造
科研研发
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