scis高精密环境控制设备
scis高精密环境控制设备是一款自主研发的精密环境控制产品,主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。
超高精度温湿度控制
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超高水准洁净度控制
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数据实时记录查询
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外观定制可拆卸
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设备运行静音高效
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自动安全保护系统
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命名 | scis | h | a | a | 100 |
码位 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 |
第1码 | scis-品牌 | ||||
第2码 | h-高精密环控系列 | ||||
第3码 | 制冷模式编号 a-风冷型,冷媒介质为水 b-水冷型,冷媒介质为水 c-风冷型,冷媒介质为氟利昂 d-水冷型,冷媒介质为氟利昂 e-用户提供冷冻水 | ||||
第4码 | 温度精度编号 a-精度高于±0.01 b-精度低于±0.01,高于±0.05 c-精度低于±0.05 | ||||
第5码 | 设备规模编号 100-小型设备(一般制冷量小于5kw)200-中型设备(一般制冷量在5kv-10kw之间) 300-大型设备(一般制冷量在10kw以上) |
设备需放置于具有一定温湿度精度、洁净度要求的实验室内运行。 | |
周围温湿度条件 | ±2℃ db温度变化率0.5℃/8h以内 |
±5%rh 湿度变化率59%8h以内 | |
周围洁净度条件 | iso class6 |
环境噪音 | ≤60db |
供电电源 | 三相五线制380vac-50hz或220vac-50hz(根据设备而定) |
电源电压 | 最大允许波动范围为±10% |
储存环境温度 | 设备制冷单元-40℃-70℃ 触摸屏-20℃-60℃,不结露 |
运行环境温度 | 控制器-20℃-60℃ 触摸屏0℃-50℃,不结露 |
典型运用

芯片半导体

精密测量

精密制造

科研研发
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